（1）一体化扫描透射(STEM)系统.

       分辨率：0.2 nm （明场像线分辨率）   

       探头：高角环形暗场探头（HAADF）和明场探头

       TEM与STEM模式相互切换后所需热稳定时间小于30秒   

       STEM放大倍数范围150x - 230Mx   （2）牛津公司电制冷能谱仪系统（X-Max80T）

     电制冷能谱探测器分辨率(Mn K线)：优于127eV(STD)

（2）牛津公司电制冷能谱仪系统（X-Max80T）

   电制冷能谱探测器分辨率(Mn K线)：优于127eV(STD)

（3）Gatan公司一体化CMOS相机及成像系统（OneView）

（4）Hysitron PI95

（5）Gatan公司EELS

   主要技术参数

 （1）分辨率：点分辨率0.19nm，线分辨率0.10nm

 （2）加速电压：200kV

 （3）电子枪类型：肖特基场发射电子枪

 （4）束流：1.0nm束斑电流达到0.5nA；2.5nm束斑电流达到3.0nA

 （5）放大倍数：最小50倍；最大 1,500,000倍

 （6）样品台：5轴样品台

 （7）样品杆：单倾样品杆，和低背景双倾样品杆

 JEM 2100F 是一款先进的透射电子显微镜，可以快速地获得超高分辨率图像，使原子尺度的结构分析更简便。该电镜的加速电压为200kV，具有透射（TEM）、会聚束衍射（CBED）以及纳米束衍射（NBD）等工作模式，并且可与能谱仪联机，进行样品成分分析。其点分辨率和线分辨率分别为0.19nm和0.1nm；STEM分辨率为0.20nm;放大倍数达150万倍。利用其不仅可以获得样品的高分辨率电子显微像，而且还可对样品微区作纳米尺度的结构与成分分析。因而JEM-2100F广泛应用于材料科学、生命科学、半导体、纳米技术等领域。