多自由度精密位移平台由压电马达驱动，包含传感器、驱动器和控制器等部件，是精密仪器运动控制系统的核心部分，也是精密加工设备、医疗设备、微电子制造检测设备、测量仪器、印刷设备、生物医疗设备、自动化生产线的关键组件。其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特点，其运动控制部分采用先进的EtherCAT（通用超高速以太网现场总线）方案，使系统不仅更简洁、更灵活，还具有更好的实时性。与国外同类产品相比节省了成本且在性能和应用领域等方面具有很大优势。

本项目产品主要针对医疗设备、精密测量设备和微纳米加工市场，可应用于高端微电子装备、精密仪器仪表、计算机、工业控制系统、航空航天、智能机器人等领域。主要客户为光学、电子显微镜制造商、DNA、细胞及组织检测设备制造商、纳米材料研究及生产单位。

多自由度精密位移平台重复定位精度：优于1.0μm，最小步长：优于0.1μm，驱动方式：单相脉冲，最大速度：大于200mm/s，最大加速度：2g，最大行程：300mm，可多轴同步驱动：控制时延时不超过100μs。本项目申请了多项专利，其中2项发明专利和6项实用新型专利已经授权，申请了2项软件著作权。    

 本项目已完成研发，可小批量生产，产品处于试销阶段，已销售有近百套。下一阶段将在原有产品上升级，开发带PID功能的控制器和增加EtherCAT接口。